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半導(dǎo)體晶體清洗機(jī)的設(shè)計(jì)、選購、制造、檢驗(yàn)和測(cè)試均按照相關(guān)國家、半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行，但合同中或技術(shù)文件中另有規(guī)定的除外。外購配件執(zhí)行相應(yīng)的國家標(biāo)準(zhǔn)、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范及企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)；半導(dǎo)體晶體清洗機(jī)包括設(shè)備主體、電氣控制部分、化學(xué)工藝槽、純水清洗槽等；并提供與廠務(wù)供電、供氣、供水、排廢水、排氣系統(tǒng)配套的接口等。

半導(dǎo)體晶體清洗機(jī)主要適用于半導(dǎo)體晶體的清洗工作，設(shè)備采用全封閉結(jié)構(gòu)，全面完善的防腐防酸措施，保證工件的潔凈；特有的氮?dú)馀莨呐菹到y(tǒng)提高清洗品質(zhì)及清洗效率；根據(jù)不同要求，可自由選擇干燥方式； PLC自動(dòng)監(jiān)控，全伺服機(jī)械驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，性能穩(wěn)定； 國內(nèi)領(lǐng)先自動(dòng)補(bǔ)液技術(shù)，提高清洗效率；德國進(jìn)口材質(zhì)輥輪傳輸方式快速穩(wěn)定，降低了產(chǎn)品“碎片率”。

半導(dǎo)體晶體清洗機(jī)清洗工藝流程：

第一槽：超聲波粗洗（超聲波結(jié)合清洗液對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行全方位清洗，剝離污漬）

第二槽：超聲波精洗（使用清水進(jìn)行二次清洗，進(jìn)一步清洗殘留雜質(zhì)）

第三槽：超聲波精洗（使用清水進(jìn)行三次清洗，進(jìn)一步清洗殘留雜質(zhì)）

第四槽：高壓噴淋漂洗（使用清水用高壓水的方式去除產(chǎn)品上殘留的清洗液，保護(hù)產(chǎn)品）

第五槽：超聲波漂洗（使用清水進(jìn)行一次清洗，進(jìn)一步清洗殘留雜質(zhì)和去除清洗液）

第六槽：超聲波漂洗（使用清水進(jìn)行二次清洗，進(jìn)一步清洗殘留雜質(zhì)和去除清洗液）

第七槽：超聲波漂洗（使用清水進(jìn)行三次清洗，進(jìn)一步清洗殘留雜質(zhì)和去除清洗液）

第八槽：超聲波漂洗（使用清水進(jìn)行四次清洗，進(jìn)一步清洗殘留雜質(zhì)和去除清洗液）

第九槽：慢接脫水干燥（在慢拉的作用下工作表面不會(huì)出現(xiàn)水珠，在烘干時(shí)不會(huì)有水印）

第十槽：熱風(fēng)循環(huán)烘干（對(duì)產(chǎn)品就行烘干，防止出現(xiàn)水斑和氧化）

第十一槽：熱風(fēng)循環(huán)烘干（對(duì)產(chǎn)品就行烘干，防止出現(xiàn)水斑和氧化）

設(shè)備包括：設(shè)備主體、電氣控制部分、化學(xué)工藝槽、純水清洗槽等；并提供與廠務(wù)供電、供氣、供水、排廢水、排氣系統(tǒng)配套的接口等；

主體：設(shè)備為半敞開式，主體使用進(jìn)口WPP15和10mm厚板材，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)充分考慮長期工作在酸腐蝕環(huán)境，堅(jiān)固耐用，雙層防漏，機(jī)臺(tái)底盤采用德國產(chǎn)瓷白PP板，熱焊接而成，可長期工作在酸堿腐蝕環(huán)境中；

骨 架：鋼骨架+PP德國勞施領(lǐng)板組合而成，防止外殼銹蝕；

臺(tái) 面：高度為850mm；

儲(chǔ)物區(qū)：位于工作臺(tái)面左側(cè)，約280mm寬，儲(chǔ)物區(qū)地板有漏液孔和底部支撐；

安全門：前側(cè)下開透明安全門，腳踏控制；

工藝槽：模組化設(shè)計(jì)，腐蝕槽、純水沖洗槽放置在一個(gè)統(tǒng)一的承漏底盤中。底盤采用滿焊接工藝加工而成，杜絕機(jī)臺(tái)的滲漏危險(xiǎn)；

管路系統(tǒng)：位于設(shè)備下部，所有工藝槽、管路、閥門部分均有清晰的標(biāo)簽注明；藥液管路采用PFA管，純水管路采用白色NPP噴淋管，化學(xué)腐蝕槽廢液、沖洗廢水通過專用管道排放；

電氣保護(hù)：電器控制、氣路控制和工藝槽控制部份在機(jī)臺(tái)頂部電控區(qū)，電氣元件有充分的防護(hù)以免酸霧腐蝕以保障設(shè)備性能運(yùn)行穩(wěn)定可靠；所有可能與酸霧接觸的電氣及線路均經(jīng)PFA防腐隔絕處理，電氣柜CDA/N2充氣保護(hù)其中的電器控制元件；

排 風(fēng)：后部排風(fēng)和下沉式設(shè)計(jì)，風(fēng)量可調(diào)節(jié)，對(duì)操作員有安全保護(hù)；

送 風(fēng)：設(shè)備頂部有FFU百級(jí)凈化送風(fēng)裝置，設(shè)備沿前側(cè)板鑲嵌入墻體，保證后上部送風(fēng)；

照 明：工作區(qū)頂部配有雙光日光燈照明；

水汽槍：機(jī)臺(tái)前部配備有PTFE純水槍和PTFE氮?dú)鈽尭?只置于右側(cè)，方便操作員手工清洗槽體或工件；

機(jī)臺(tái)支腳：有滑輪裝置及固定裝置，并且有高低調(diào)整及鎖定功能。

安全保障：完善的報(bào)警和保護(hù)設(shè)計(jì)，排風(fēng)壓力、液位、排液均有硬件或軟件互鎖，直觀的操作界面，清晰的信息提示，保障了生產(chǎn)、工藝控制和安全性三色警示燈置于機(jī)臺(tái)上方明顯處。

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